單向退火爐

您的當(dāng)前位置：首頁 >> 產(chǎn)品中心 >> 退火爐

單向退火爐

所屬分類：退火爐
點擊次數(shù)：
發(fā)布日期：2020/05/15
規(guī)格：
類型：
在線詢價

詳細(xì)介紹

單向退火爐

退火目的是什么？在高溫（1750℃）加熱狀態(tài)下，通過高溫促使晶體晶格打亂后重新排列，同時清除一些晶格內(nèi)部缺陷，從而釋放內(nèi)部應(yīng)力，為后續(xù)加工奠定良好的基礎(chǔ)。晶體退火恒溫時間為36小時；每爐次退火時間為5天左右。退火后的晶棒在切割完成后，晶片翹曲低于1絲，線小于2毫米、內(nèi)應(yīng)力、崩邊現(xiàn)象及線痕度得到很大的提升；加工后的晶片成品率也達(dá)到了95%以上。成品率提高了，成本又降低了很多，同時延長了晶棒的切割線的使用壽命。

單向退火爐

主要技術(shù)參數(shù)
型號	LGYL-1800 單向退火爐	LGYL-1800 雙向退火爐	LGYL-1650 單向退火爐	LGYL-1650 雙向退火爐
有效工作區(qū)尺寸（mm）	860340300	860340300	860420450	860420450
額定功率	57KVA	57KVA	57KVA	57KVA
每爐裝載量	4寸晶棒約5800mm	4寸晶棒約5800mm	4寸晶片約9000mm	4寸晶片約9000mm
額定溫度	1750℃	1750℃	1600℃	1600℃
保溫材料	氧化鋯纖維	氧化鋯纖維	氧化鋁纖維	氧化鋁纖維
移動軌道行程速率	1040.4mm/分	1040.4mm/分	1040.4mm/分	1040.4mm/分
升降平臺行程速率	92.8mm/分	92.8mm/分	92.8mm/分	92.8mm/分
操控方式	手動與自動	手動與自動	手動與自動	手動與自動
工作電壓	電爐加熱380V 儀表工作220V	電爐加熱380V 儀表工作220V	電爐加熱380V 儀表工作220V	電爐加熱380V 儀表工作220V
運行機構(gòu)	絲桿、軌道、電動運行	絲桿、軌道、電動運行	絲桿、軌道、電動運行	絲桿、軌道、電動運行
加熱元件	1900型硅鉬棒（U型）	1900型硅鉬棒（U型）	1800型硅鉬棒（U型）	1800型硅鉬棒（U型）
控制精度	≤±0.5℃	≤±0.5℃	≤±0.5℃	≤±0.5℃
控溫方式	100段PID智能程序控溫，可編程序控制器（PLC）控制＋觸摸屏＋工控機